费勉仪器（FERMI INSTRUMENTS）目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。 低压气体受外界能量激发产生等离子体，包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分，依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用，将所需去除物质变为挥发性物质，即可经由抽真空去除。较

2019年12月6日，费勉仪器向复旦大学张远波教授提供的原位闭循环低温输运系统完成现场安装测试。该系统可实现MBE生长和原位10电极输运测量的超高真空互联，样品最低温度小于4K。所有指标达到合同标准。 （图1）原位10电极闭循环低温输运与MBE互联系统费勉仪器总经理欧宏炜博士和张远波教授参加了验收仪式，同时欧宏炜博士向

2019年11月15日，费勉仪器（Fermi Instruments）和Scienta Omicron就ARPES低温样品架以及APXPS系统开发达成了合作协议，将以中国市场为起点，面向全球市场。费勉仪器在超高真空系统集成、低温技术领域具有自己独特的优势，而Scienta Omicron在谱学研究上有深厚的造诣，双方的尖端技术相得益彰，将为探索科研边界带来新的助

2019年11月14日至15日，2019谱学纳米显微研讨会（Spectro Nanoscopy 2019 Workshop）在上海光源举办，旨在促进亚太各同步辐射组织之间的学术交流，提升亚太各同步光源之间的合作。作为本次会议赞助商，费勉仪器也将展现同步辐射研究领域的相关应用以及未来发展规划。 费勉仪器通过在等离子应用领域不断探索和钻研，显著提升

2019年8月15日-16日，费勉仪器携MBE核心产品亮相烟台市第十三届全国分子束外延会议。本次大会，将展示分子束外延（MBE）及其相关领域的新进展、新动态、新成果，交流和探讨未来MBE技术发展方向，共画美好蓝图。 8月15日下午，费勉仪器首席技术官谢斌平博士将发表《高纯度智能薄膜制备MBE技术仪器研发》的学术演讲，分享MBE