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专利证书

Patent Certificate

科技创新是企业发展的源动力,费勉一向注重自主知识产权的原始积累,通过技术研发和创新不断推动产品升级,提升公司核心创造力。
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  • 机械传递臂及真空传递腔
  • 磁力传动机构及真空管道系统
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  • 真空原位反应装置
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  • 化学气相沉积系统
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  • 真空传递车及真空传样系统
  • 真空载样车及真空系统
  • 高温高压反应装置
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  • 真空轨道调节装置及真空系统
  • CVD样品台及CVD系统