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    真空技术在精密仪器、生物基因、高低温等领域有着广泛的应用。目前,费勉仪器已具备完整的真空产业链,从小部件到几十米长的超大真空系统,各类真空产品已经进入
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    公司研发的射频聚焦等离子激励技术,突破传统等离子激励所需的高压电极放电、大功率微波源等限制,使低温等离子技术在更多领域的应用变为现实。基于此技术开发的
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