| ● 驱动方式：磁耦合 | ● 最高烘烤温度：150°C | ● 用于10-11 mbar超高真空环境 |
| ● 安装法兰：CF法兰，通孔 | ● 材质：超高真空兼容材料 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 磁耦合旋转驱动（MR） | ||||||
| 安装法兰 | CF16 | CF35 | |||||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 34 | 70 | ||||
| 英寸 | 1.33 | 2.75 | |||||
| 旋转角度 | 90° | 180° (可调节) | 360° | 360° | |||
| 驱动 | 手动 | 气动 | 手动 | 电动 | 手动 | 电动 | |
| 扭矩 | 0.3N·m | 4.5N.M | |||||
| 分辨率 | 5° | / | / | 0.01° | 5° | 0.01° | |
| 重量 (kg) | 0.4 | 0.6 | 0.6 | 1.0 | 1.1 | 2.0 | |
| 型号 | MR16R90M | MR16R90P | MR16R180S-L | MR16R360A | MR35R360M | MR35R360A | |
| XY驱动 | 3040000001 | 3040000003 | 3040000016 | 3040000005 | 3040000020 | 3040000021 | |
*注: MR16R90M可实现手动切换成180°或360°
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