| ● 两级差分实现超高真空性能 | ● 适用于10-11 mbar超高真空环境 | ● 烘烤温度:150°C(移除电机及其组件) |
| ● 旋转范围:360°(可连续旋转) | ● 激光蚀刻刻度 | ● 上端安装法兰:CF法兰,螺纹孔 |
| ● 下端安装法兰:CF法兰,通孔 | ● 手动/电机驱动 |
| 品名 | 差分旋转驱动(DPRF) | ||||
| 安装法兰 | CF63 | CF100 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 114 | 152 | ||
| 英寸 | 4.5 | 6.0 | |||
| 旋转角度 | 360° | 360° | |||
| 驱动 | 手动 | 步进电机 | 手动 | 步进电机 | |
| A (mm) | 242.5 | 447 | 260.5 | 465 | |
| B (mm) | 199 | 181.5 | 273 | 255.5 | |
| C (mm) | 100.5 | 106.5 | 102 | 108 | |
| D (mm) | 70 | 70 | 101 | 101 | |
| E (mm) | 51 | 51 | 47 | 47 | |
| 分辨率 | 1° | 0.005° | 1° | 0.005° | |
| 重量 (kg) | 4.5 | 6.1 | 9.2 | 11.0 | |
| 型号 | DPRF63M | DPRF63A | DPRF100M | DPRF100A | |
| XY驱动 | 3040300002 | 3040300007 | 3040300003 | 3040300004 | |


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