高温下,氢气分子会裂解为原子态氢。电子束加热是最有效的方式之一。在较低的功率下,金属毛细管可以被加热高于2500℃。通常在加热的金属毛细管通入氢气,气体分子裂解为原子形成氢原子束,被广泛用于材料的生长和衬底表面处理。由于被环绕水冷以及自身的小孔径,金属毛细管对腔室产生的热量是可以忽略的。
加热系统:电子轰击加热 | 兼容性:超高真空兼容,极限真空10-11mbar | 水冷:内置水冷模块 |
挡板:可选Ta挡片(手动/气动) | 定制化:可定制长度 |
型号 | E38HC | ![]() |
安装法兰 | DN38CF | |
真空内长度 | 230 mm | |
真空内外径 | 36 mm | |
毛细管内径 | 0.6 mm | |
最大灯丝电流 | 4.5 A | |
高压 | ~1000 V | |
发射电流 | ~30 mA | |
最高烘烤温度 | 250℃ |
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