EN 021-6525 3206

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电子束裂解氢源

高温下,氢气分子会裂解为原子态氢。电子束加热是最有效的方式之一。在较低的功率下,金属毛细管可以被加热高于2500℃。通常在加热的金属毛细管通入氢气,气体分子裂解为原子形成氢原子束,被广泛用于材料的生长和衬底表面处理。由于被环绕水冷以及自身的小孔径,金属毛细管对腔室产生的热量是可以忽略的。

产品特点
加热系统:电子轰击加热兼容性:超高真空兼容,极限真空10-11mbar水冷:内置水冷模块
挡板:可选Ta挡片(手动/气动)定制化:可定制长度


产品规格
型号E38HCimage.png
安装法兰DN38CF
真空内长度230 mm
真空内外径36 mm
毛细管内径0.6 mm
最大灯丝电流4.5 A
高压~1000 V
发射电流~30 mA
最高烘烤温度250℃



                                               
应用案例

Nature Synthesis:通过表面合成和还原相结合制备自旋-1/2 海森堡反铁磁链用于自旋子检测

标签: 超高真空MBE
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