产品概述 Product Overview
费勉设计一款多气路面板用于提供优于100ppt级别高纯紫外光源工作气体,包含 He, Ne, Ar, Kr, Xe...等多种工作气体,提高光子分辨率,延长灯头使用寿命。
规格说明 Specification
● 精密气体流量控制:0.1sccm-10sccm
● 纯度:纯化后气体纯度优于100ppt
● 多路气体切换
● 全金属VCR超高纯气路标准设计
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沪公网安备 31011302005977号