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磁耦合传样杆
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产品概述 Product Overview
圆形传样机械臂通过旋转和伸缩机械臂，为径向分布的样品传样提供了一个经济适用的解决方案。高扭矩磁耦合驱动器驱动机械臂旋转精准旋转至所需的腔体端口，搭配另一个磁耦合旋转驱动的伸缩装置，使得机械臂可达1200mm。末端可以搭配抓取头。
该款传样机械臂最多可具有5个自由度，并有手动和电动等多种型号可选。
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规格说明 Specification
● 极限真空：优于5×10-10 mbar
● 烘烤温度可达120℃
● 高承载能力
● 可伸展1200mm
● 可连续旋转运动
● 线性伸缩重复精度：＜1mm（电动）
● 旋转重复精度＜0.1°（电动）
● Z方向选择模块：CF63 可调节法兰或 50mm行程线性驱动可选
产品尺寸 Dimension Drawing
视频 Video
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