EN 021-6525 3206

您当前位置:首页 > 产品中心 > 科研仪器 > 薄膜制备类 > MBE核心部件 > 蒸发源 > 氢/氧热裂解源...

氢/氧热裂解源

氢/氧热裂解源通过高温将氢/氧分子裂解为活性高的原子,常用于样品处理或生长。


规格说明
最大工作温度1800℃●  内置水冷,降低对腔体热辐射
顶部具有特殊结构扩散板,提高束流均匀性


产品尺寸

image.png

氢/氧热裂解源模块描述配置参数
型号E38HSE38OS
尺寸安装法兰DN38CF
真空内长度220mm
真空内外径36mm
温度热偶类型C型

最高工作温度/电流1800℃/13A1700℃/13A

温度稳定性≤0.1%,取决于PID温控器

最高除气温度/电流2000℃/14A1900℃/14A

最高烘烤温度250℃
标签: 超高真空MBE
联系我们

收到资料后,我们的销售人员/产品工程师将与您联系

部分产品可根据您的需求定制

您的资料将全程保密

相关产品
TOP