氢/氧热裂解源通过高温将氢/氧分子裂解为活性高的原子,常用于样品处理或生长。
● 最大工作温度1800℃ | ● 内置水冷,降低对腔体热辐射 |
● 顶部具有特殊结构扩散板,提高束流均匀性 |
氢/氧热裂解源 | 模块描述 | 配置参数 | |
型号 | E38HS | E38OS | |
尺寸 | 安装法兰 | DN38CF | |
真空内长度 | 220mm | ||
真空内外径 | 36mm | ||
温度 | 热偶类型 | C型 | |
最高工作温度/电流 | 1800℃/13A | 1700℃/13A | |
温度稳定性 | ≤0.1%,取决于PID温控器 | ||
最高除气温度/电流 | 2000℃/14A | 1900℃/14A | |
最高烘烤温度 | 250℃ |
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