氢/氧热裂解源通过高温将氢/氧分子裂解为活性高的原子,常用于样品处理或生长。
| ● 最大工作温度1800℃ | ● 内置水冷,降低对腔体热辐射 |
| ● 顶部具有特殊结构扩散板,提高束流均匀性 |

| 氢/氧热裂解源 | 模块描述 | 配置参数 | |
| 型号 | E38HS | E38OS | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF | |
| 真空内长度 | 220mm | ||
| 真空内外径 | 36mm | ||
| 温度 | 热偶类型 | C型 | |
| 最高工作温度/电流 | 1800℃/13A | 1700℃/13A | |
| 温度稳定性 | ≤0.1%,取决于PID温控器 | ||
| 最高除气温度/电流 | 2000℃/14A | 1900℃/14A | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ | ||

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