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Fermi NEG Pumps

非蒸散型吸气泵(NEG泵)采用独特的金属合金,通过化学吸附方式高效移除真空系统中的气体分子。即使在超高真空环境,NEG泵都能确保系统稳定、持久运行。

产品优势

高效吸附

迅速吸附氢气、氧气、氮气、二氧化碳和水蒸气等多种气体

节能环保无需持续电力驱动,降低能耗,减少运行成本
无噪音,无振动运行过程安静无噪动,适用于敏感实验环境
紧凑设计,安装灵活小巧轻便的设计,适合在有限空间中安装
应用领域
粒子加速器
半导体制造
电子显微镜
离子探针
质谱仪
空间模拟设备


产品规格
产品型号安装法兰H2抽速(L/S)H2O抽速(L/S)CO抽速(L/S)N2抽速(L/S)
FNEG-400CF3540029018095
FNEG-800CF63800580360185
FNEG-1200CF1001200870540275
FNEG-2400CF150240017401080540

image.png 

FNEG-400吸附曲线

产品材料

吸气剂合金

TMK
法兰材料SUS304
格栅材料SUS316L


配套产品:程控直流电源&激活电源线



产品型号配套电源名称电源型号激活电源线型号
FNEG-400低压程控直流电源 50V 10ADCPS-D5010PSC-EE1152T
FNEG-800低压程控直流电源 50V 10ADCPS-D5010PSC-EE1152T
FNEG-12003016直流温控电源 50V 10ATCPS-DC-K5010TCC-K1010
FNEG-24003016直流温控电源 50V 10ATCPS-DC-K5010TCC-K1010

image.pngimage.png

低压程控直流电源                                        3016直流温控电源



标签: 超高真空MBE
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