非蒸散型吸气泵(NEG泵)采用独特的金属合金,通过化学吸附方式高效移除真空系统中的气体分子。即使在超高真空环境,NEG泵都能确保系统稳定、持久运行。
高效吸附 | 迅速吸附氢气、氧气、氮气、二氧化碳和水蒸气等多种气体 |
节能环保 | 无需持续电力驱动,降低能耗,减少运行成本 |
无噪音,无振动 | 运行过程安静无噪动,适用于敏感实验环境 |
紧凑设计,安装灵活 | 小巧轻便的设计,适合在有限空间中安装 |
应用领域 | |
粒子加速器 | |
半导体制造 | |
电子显微镜 | |
离子探针 | |
质谱仪 | |
空间模拟设备 |
产品型号 | 安装法兰 | H2抽速(L/S) | H2O抽速(L/S) | CO抽速(L/S) | N2抽速(L/S) |
FNEG-400 | CF35 | 400 | 290 | 180 | 95 |
FNEG-800 | CF63 | 800 | 580 | 360 | 185 |
FNEG-1200 | CF100 | 1200 | 870 | 540 | 275 |
FNEG-2400 | CF150 | 2400 | 1740 | 1080 | 540 |
FNEG-400吸附曲线
吸气剂合金 | TMK |
法兰材料 | SUS304 |
格栅材料 | SUS316L |
配套产品:程控直流电源&激活电源线
产品型号 | 配套电源名称 | 电源型号 | 激活电源线型号 |
FNEG-400 | 低压程控直流电源 50V 10A | DCPS-D5010 | PSC-EE1152T |
FNEG-800 | 低压程控直流电源 50V 10A | DCPS-D5010 | PSC-EE1152T |
FNEG-1200 | 3016直流温控电源 50V 10A | TCPS-DC-K5010 | TCC-K1010 |
FNEG-2400 | 3016直流温控电源 50V 10A | TCPS-DC-K5010 | TCC-K1010 |
低压程控直流电源 3016直流温控电源
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