VPC系列阀式裂解源为P材料蒸发设计，可在超高真空环境下提供有效、稳定的磷束流。红磷材料在大容量坩埚内加热后形成磷蒸汽，在白磷区气冷夹层的冷凝作用下转化为束流更为稳定的白磷，经过束流调节阀进入裂解区高温裂解后形成反应活性高的P2束流。VPC裂解源的阀门可实现束流瞬态变化与完全关闭的精确控制，另外阀门自带力矩反馈，可实现全自动零位校准。独特设计的扩散板结构可控制束流分布状态，提高束流均匀性。
| ● 高精度束流控制阀门 | ● 三温区独立控温，裂解区最高温可达1400℃ | ● 适用于大容量坩埚 |
| ● 温度稳定性优于±0.2℃ | ● 裂解区配备独立水冷套，水冷可单独拆卸 |
| 蒸发源型号 | VPC500 | VPC5000 | |
| 坩埚容积 (cc) | 500 | 5000 | |
| 安装法兰尺寸 | CF35 | CF100 | |
| 真空内长度 (mm) | 306 | 271.1 | |
| 真空内外径 (mm) | 36.4 | 62 | |
坩埚尺寸 (mm) | 直径 | 58 | 59.5 |
| 高度 | 90.5 | 156 | |
| 最高除气 温度(℃) | 裂解区 | 1200 | |
| 白磷区 | 500 | ||
| 红磷区 | / | ||
常用工作 温度(℃) | 裂解区 | 800-1000 | 900-1000 |
| 白磷区 | 150-200 | ||
| 红磷区 | 150-200 | 150-250 | |
| 温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||
| 阀门驱动器 | 步进电机 | ||
| 束流变化范围 | 2-3个数量级变化 | ||
| 水冷套 | 蒸发区配备标准水冷套，裂解区水冷套可选配 | ||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||
| 订购编码 | 3205010069 | 3205010039 | |
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