费勉100问第四期 | 真空相关
这个问题要看具体的真空范围,如果处于辉光放电的真空度下,比如~10Pa,那么气体会被离子泵的高压击穿,这时候离子电流非常大,会远远超出离子泵电源的负载,一般情况下,离子泵的电源会自动切断输出并报警。
(a)P值偏大
P值太大,温度会一直震荡,无法稳定。由于在设定值附近得到的P值可能不准确,所以要先关闭加热器,将温度降下来,远离设定值,减小P值后,再重新加热观察升温曲线。
(b)P值偏小