| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 局部波纹管部分可烘烤150℃ | ● 焊接波纹管材质：SS316L |
| ● 通径：102mm | ● 上端安装法兰：CF100法兰，通孔 | ● 下端安装法兰：CF150法兰，通孔 |
| ● XYZ轴分辨率：0.2μm | ● 伺服电机驱动 | ● 可接受定制 |
| ● 光栅尺闭环反馈 |
| 品名 | 高精度全尺寸三维平移台（HFXYZ） | ||
| 上端移动法兰 | CF100 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | |
| 英寸 | 6.0 | ||
| 下端安装法兰 | CF150 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 | |
| 英寸 | 8.0 | ||
| XY行程 (mm) | ±12.5 | ||
| Z行程 (mm) | 300 | 550 | |
| A拉伸 (mm) | 710 | 960 | |
| B压缩 (mm) | 410 | 410 | |
| C (mm) | 815 | 1065 | |
| Z驱动 | 伺服电机 | ||
| XY驱动 | 伺服电机 | ||
| 型号 | HFXYZ150Z300M-1055 | HFXYZ150Z550M-1055 | |
| 订购编码 | 3042320009 | 3042320019 | |
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