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Z-R磁耦合驱动

Z-R磁耦合驱动我们采取了紧凑型的磁耦合结构驱动,消除不必要动态密封件设计,确保真正的超高真空性能,提高可靠性和维护周期。

产品特点
  磁耦合驱动  适用于10-11mbar超高真空环境  最高烘烤温度150℃
  材质超高真空兼容材料  可连续360°旋转,旋转速度高达60 rpm  内轴可25mm升降
  并提供Home功能


规格参数

品名Z-R磁耦合驱动(Z-R)
上端安装法兰CF35
法兰

尺寸

毫米70
英寸2.75
下端安装法兰CF63
法兰

尺寸

毫米114
英寸4.5
重量 (kg)12.0
型号Z-R63L25A
订购编码3049390002



测试曲线图

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标签: 超高真空MBE
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