费勉资讯 | 探路先行,以费勉之力擎动未来产业发展
近日,江苏省省长许昆林率队调研南京江北新区,实地考察费勉仪器科技(南京)有限公司的半导体镀膜装备国产化进程,勉励公司加大技术研发力度,以更多自主研发的新产品扩大市场份额,助力新质生产力的发展。
同期,央视媒体探访了费勉仪器科技(上海)有限公司,聚焦上海科委带头的重点研发项目,见证国产化高端装备的“领跑突围”。
2019年12月6日,费勉仪器向复旦大学张远波教授提供的原位闭循环低温输运系统完成现场安装测试。该系统可实现MBE生长和原位10电极输运测量的超高真空互联,样品最低温度小于4K。所有指标达到合同标准。
(图1)原位10电极闭循环低温输运与MBE互联系统