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3英寸专用高温样品架
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产品亮点 Highlights
● 加热器材料：SIC
● 样品托最高温：1200K
● 两自由度：Z和R1
● 精准控温：PID控温精度可达±0.1K
● 兼容掩膜板（MASK）
● 重复定位精度：2μm
● 旋转角度: 0°，90°，180°，270°
技术规格 Mechanical Specifications
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R1轴向旋转 |
360° |
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Z 行程 |
75mm |
视频 Video
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